100级大面积电子厂房净化空调设计

产量：

100000

1概况本工程位于广东某工业园内,厂房共有二层,每层建筑面积约36500m2。洁净厂房分阶段完成,共分4期完成。本次工程为第二期,100级洁净厂房约为2680m2,千级面积约为580m2,普通区域(testarea)面积为5000m2(厂房平面图略)。2设计主要参数设计主要参数见表1。3洁净空调系统设计3.1洁净冷负荷计算夏季冷负荷包括:维护结构冷负荷、人员冷负荷、照明冷负荷、生产设备冷负荷、新风冷负荷、风管冷损、空调机组风机负荷等。经计算:100级区域冷负荷指标为880W/m2,1000级冷负荷指标:480W/m2。普通区域(testarea)冷负荷指标:600W/m2(普通区域放置测试设备,发热量较大)。3.2100级、1000级洁净房的空调方式洁净房采用FHU+DCU+FFU的空调方式,洁净房空调及气流组织形式见图1。其中,FHU为新风机组(Freshairhandingu2nit),另外,新风机组对新风采取了初、中、高效过滤处理。新风机组包括:初效段,表冷段,中效段,加热段(厂家有热水系统,采用热盘管),加湿段(厂家有蒸气),高效段。其中,空气清洗段厂家先要求预留,以后再增加新风机组担负洁净房的湿度控制,保持洁净房的正压和人员新风需求。该工程新风量取35000m3/h;DCU为干表冷盘管(Drycoilunit),在每一个洁净房内的回风夹墙中,都设置了干冷盘管。干冷盘管的主要作用是对洁净房进行等湿降温,所以,通过干盘管的冷冻水的温度稍大于洁净房的露点温度,保证洁净房空气通过干冷盘管时不结露;FFU为带风机的高效过滤器(Fanfilterunit),FFU将洁净房内的通过干冷盘管冷却的回风,再与新风机组处理的新风混合后,通过FFU中的高效过滤器送到洁净房中。该洁净房地面采用1m高的导电高架地板,实现顶送底回的送风形式,进一步保证气流的垂直度的层流送风形式。该空调的方式其特点是:洁净房的湿度采用集中控制的形式,控制简单,便于控制管理。其次,采用干冷盘管的冷却方式,节约空调机房的面积,特别适合大面积大冷负荷而空调机房面积较为紧张的洁净房场所。同时,多组干冷盘管的形式有利室内温度控制,尤其当室内各负荷不均匀时,更加有利。另外,在技术夹层,也不会有冷凝水产生,不易藏污、滋生细菌等。但是,由于干冷盘管中所流动的冷冻水温要求高于洁净房的露点温度,所以水温偏高,降低了盘管的传热系数,及要求增加表冷盘管的传热面积,增加了初次投资成本。又因为,要求流入干冷盘管的冷冻水温要高于洁净房的露点温度,而冷冻站提供的供水温度为7℃,回水温度12℃。所以必须采用二次水循环的形式。该循环水系统形式有两种:(1)采用三通阀混合的形式;(2)采用热交换器的形式。在分析两种循环的形式特点后,最终采用了热交换器的形式,进一步的确保系统稳定可靠。当然,增加热交换器设备,投资增大。但是,相对该类工程来说,大面积高洁净度的洁净房,如果采用空气处理机组的形式,该系统风管系统所占用的空间、费用较大,同时,还要占用很大的空调机房面积。在综合考虑对比后,采用干表冷盘管的系统还是经济的,合理的。3.3空气处理洁净房的空气处理:洁净房的空气首先通过干表冷盘管冷却,控制洁净房内的温度。使之保持在设计温度的范围内,然后回到洁净房顶端的静压箱中和新风混合后再通过FFU送到洁净房内。新风机组空气处理:新风经过初效过滤后进入冷盘管,冷盘管将新风处理到洁净房露点温度后,进入中效过滤器和加热盘管段,然后进入空气清洗段(该段暂时没有装入),进入二次加热盘管段和加湿段,保证洁净房空气湿度恒定在设计要求范围内。最后由风机将处理的新风送到高效送风段,然后送到洁净房天花顶上的静压箱中,和洁净房的回风混合,通过FFU送到洁净房内。1K更衣间的空气处理方式相同。4空调主机及冷冻水系统本工程为2期工程,主机在第一期已经全部到位,采用1000RT开利离心机组共4台,冷冻水管已全部通到所需的位置,并已经预留接管。本工程testarea及新风机组直接采用主冷冻水管的冷冻水,供回水温度7℃/12℃;但洁净房中的干盘管的冷冻水,必须保证冷冻水供回水温度13℃/17℃;设计供回水温差为4℃,即采用热交换器设计二次循环冷冻水系统。在热交换器冷源端的冷冻水的供回水管上,安装电动二通阀,通过DDC的控制,保证二次循环的水温恒定在设计的范围内。二次冷冻水水管系统采用异程式的方式,洁净房回风夹墙中的干冷盘管,共分为8组,每一组设置一个电动比例积分阀,根据所对应的范围感应到的洁净房内的温度,来调整比例积分阀的开启度进行调整,从而将温度控制在设计要求。膨胀水箱设置在楼面上。5自动控制系统本期工程采用一套DDC控制系统,并且和机房总站连接,可以实现局部调控和机房总站对运行状态的控制和观测。洁净房中的干冷盘管,共分了8组,每一组采用一个比